電感耦合等離子體原子發射光譜分析儀（簡稱：ICP-AES）的基本工作原理是：液體樣品由載氣（氬氣）帶入霧化系統進行霧化，霧化后的樣品以氣溶膠形式進入等離子體的軸向通道，在高溫和惰性氣氛中被充分蒸發、原子化、電離和激發，發射出所含元素的特征譜線。儀器根據檢測特征譜線的存在與否和特征譜線的強度確定樣品中相應元素的含量，其中光譜的強度與待測元素的濃度成正比。

ICP-AES主要用于定量分析，可同時進行多種元素的測試，具有很高的靈敏度和穩定性。三元材料生產過程中，ICP-AES不僅可用于痕量元素如原材料及三元材料中雜質含量的測試，也可以用于三元材料中主元素如鎳、鈷、錳、鋰、鋁含量的測試。其應用范圍較AAS廣泛，并且測試效率高，穩定性好。9.7.4節是對ICP-AES測試三元材料主含量元素的具體分析，驗證了ICP-AES應用的廣泛性。